刻蚀模块

2021年2月3日 2781

SET刻蚀模块MET刻蚀模块侧面氩离子体清洗系统确保涂层有效区域刻蚀均匀性为±10%， 刻蚀速率250nm/h，有效祛除基体材料表面微氧化层，增强涂层与基材结合力。  金属刻蚀可以增强硬质涂层与基材结合力。通过调整阴极磁场设计，确保阴极在低电流条件下工作，控制金...

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