大功率无液滴高光弧PVD真空设备与先进工模具涂层解决方案

2022年9月28日 1277

纳狮Spark高光弧技术，广泛用于3C高光刀涂层应用。相较于传统的过虑弧多弧离子镀，甚至最新的Hipims高频磁控溅射，液滴明显及膜缺陷显著减少。  纳狮Spark无液滴技术再创新突破： 以TiN 涂层为例，厚度2.5um，沉积速率0.5um/h，Ra＜0.05um，硬度34Gpa. 表面粗...

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