可调式阴极模块

2021年2月3日 2914

可调式磁场设计，确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度，较小的弧光斑点，较高的离化率，较小的液滴。更利于低熔点靶材的离化，尤其适用于AlCrN基涂层制备。 ,

查看全文