可调式阴极模块

2021年2月3日 2911

可调式磁场设计，确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度，较小的弧光斑点，较高的离化率，较小的液滴。更利于低熔点靶材的离化，尤其适用于AlCrN基涂层制备。 ,

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